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A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph
  • 所属机构名称：中国科学院电子学研究所
  • 会议名称：The 6th East Asian Conference on Chemical Sensors
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微型阀、泵、与控温反应器及其集成化技术的研究
作者： 王海宁|崔大付|耿照新|陈兴|
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