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射频等离子体辅助化学气相沉积法
  • 所属机构名称：中国科学院上海应用物理研究所
  • 会议名称：中国物理学会第八届全国会员代表大会暨中国物理学会2003年秋学术会议， 2003年9月17-20日， 中国科学技术大学，安徽合肥
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：离子束作用下碳纳米管的结构相变研究
作者： 孙立涛，巩金龙，朱志远， 张伟
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