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退火温度对磁控溅射制备的β-FeSi2薄膜的影响
  • 所属机构名称:贵州大学
  • 会议名称:第六届中国功能材料及其应用学术会议
  • 成果类型:会议
  • 会场:中国武汉
  • 相关项目:环境半导体材料Ca2Si的制备及光电子特性研究
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