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Fabrication of SixNy nanomechanical structures using traditional lithography and gas isotropic etchi
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：IEEE International Conference of Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型：会议
  • 会场：Bangkok, THAILAND
  • 相关项目：新型纳机电系统器件制作及机电耦合基础研究
作者： Fan Zhao|Zewen Liu|Bing Liu|Litian Liu|Zhijian Li|
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