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The role of H-plasma in aluminum induced crystallization of amorphous silicaon
所属机构名称：南开大学
会议名称：Meterials Research Society Symposium
时间：2012.1.1
成果类型：会议
相关项目：等离子体辅助晶化多晶硅及其应用研究
作者：
李娟|
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