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A gas-liquid separated in-plane swing-mode resonator with high q-factor in solution for real-time bi
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)
  • 时间：2015.6.21
  • 成果类型：会议
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