位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Research on noncoplanar sacrificial layer of polyimide fabricated by RIE technology
  • 所属机构名称：中北大学
  • 会议名称：13th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology(中国微米纳米技术学会第十三届学术年会)
  • 时间：2013.11.6
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于黑硅吸收层的多层组合纳米膜红外探测器及其气体检测技术
同会议论文项目
基于黑硅吸收层的多层组合纳米膜红外探测器及其气体检测技术
期刊论文 24 会议论文 5 专利 8 著作 2
同项目会议论文
Fabrication of nanowires from Polyimide for transparent SERS devices
Fabrication of transparent SERS devices for pesticide detection
Multi-gas infrared optic sensor with integrate nano structure
Design of A Novel Thermopile Infrared Detector with High Performance