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ZrN-TaN纳米多层薄膜界面对He的非均匀吸收行为
  • 所属机构名称：四川大学
  • 会议名称：2015年中国(海峡两岸三地)纳米科技与再制造技术青年论坛
  • 时间：2015.11
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：铜互连用界面扩散阻挡层的材料设计及其服役效能的研究
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