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Effect of the Annealing Treatment on the Properties of the TiCN Films Deposited under Different Dist
所属机构名称：中国科学院兰州化学物理研究所
会议名称：第17届离子束表面改性国际会议
成果类型：会议
相关项目：固体-油脂复合润滑薄膜在空间环境中的润滑失效与延寿
作者：
Jianyun Zheng, Junying Hao, Weimin Liu|
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