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基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式
所属机构名称:上海交通大学
会议名称:国内,口头报告,中国微米/纳米第九届学术年会,2007年9月20-22日,上海
成果类型:会议
相关项目:新型集成双稳态MEMS微电磁驱动器的理论与实验研究
作者:
王佩红,戴旭涵,张晓鹏,赵小林
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