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基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式
  • 所属机构名称:上海交通大学
  • 会议名称:国内,口头报告,中国微米/纳米第九届学术年会,2007年9月20-22日,上海
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:新型集成双稳态MEMS微电磁驱动器的理论与实验研究
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