Monolithic composite-sensors designed and fabricated by a low-cost single-side 'SiN/poly-Si/
- 所属机构名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 会议名称:IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013
- 时间:2013
- 成果类型:会议
- 相关项目:"中美ASBIT" 自主捕捉和检测有害细菌的谐振式微纳传感技术