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UV-embossing process for replicating micro optical element with continuous relief structure based on
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:2010 OSA-IEEE-COS Advances in Optoelectronics and Micro/Nano-Optics, AOM 2010
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:纳米压印微光学器件中形貌误差产生机理及控制方法研究
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