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Fabrication and quantitative characterization of supersmooth surface with sub-nanometer roughness
  • 所属机构名称：同济大学
  • 会议名称：7th International Conference on Thin Film Physics and Applications
  • 时间：2011.2.16
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：同步辐射用高面形精度超光滑反射光学元件复合制作方法研究
作者： Zhengxiang, Shen1|Bin, Ma1, 2|Tao, Ding1|Xiaoqiang, Wang1|ZhanShan, Wang1|Lishuan, Wang3|Huasong, Liu1, 3|Yiqin, Ji1, 3|
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