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Design and fabrication of a MEMS polymeric micropump
  • 所属机构名称:大连理工大学
  • 会议名称:14th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology 3rd International Conference
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:聚合物微纳结构超声波压印产热机理与成形关键问题研究
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