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CF_4/Ar/O_2等离子体刻蚀Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜
所属机构名称:湖北大学
会议名称:《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会
成果类型:会议
会场:中国北京
相关项目:稀土掺杂铁电薄膜的上转换效率及其发光机理研究
作者:
全祖赐|张柏顺|章天金|马志军|潘瑞琨|赵兴中|郭涛|江娟|
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