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A Micromachined Resonant Pressure Sensor with DETFs Resonator and Differential Structure
  • 所属机构名称：中国科学院电子学研究所
  • 会议名称：8th IEEE Conference on Sensors
  • 成果类型：会议
  • 会场：Christchurch, NEW ZEALAND
  • 相关项目：基于谐振式电磁扭摆的微机械生物传感器研究
作者： Liu, Lei|Wang, Junbo|Chen, Deyong|Wu, Zhengwei|
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