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AFM-based machining technique of three dimensional curved microstructures
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：Proceedings of the euspen International Conference – Zurich - May 2008
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
作者： S. Dong|T. Sun|X. S. Zhao|Y. D. yan|Z. J. hu|
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