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MOCVD技术简述以及一种生长ZnO、ZnS薄膜用的小型MOCVD设备的研制
  • 所属机构名称：中国科学院半导体研究所
  • 会议名称：2003年第八届全国MOCVD学术会议
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：中国科学院半导体研究所
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：DVD-RAM用大功率650nmLD关键技术研究
作者： 郑凯|马骁宇|张迎春|安其|
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