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复合调制薄膜内应力控制及其性能
  • 所属机构名称：西南交通大学
  • 会议名称：中国工程院化工、冶金与材料学部第七届学术会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：类碳薄膜组织结构对膜基结合力和耐磨性的影响机理研究
作者： 孙鸿|黄楠|冷永祥|
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类碳薄膜组织结构对膜基结合力和耐磨性的影响机理研究
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