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A precise and concise 6-dof micromanipulator driven by piezoelectric actuators
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:11th International Conference on New Actuators
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:用于纳米操作的6自由度3-PPSR微动机器人
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