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The Electrostatic Tangential Resistance of the MEMS Moving Plate with Bumps Considering the Edge Eff
  • 所属机构名称：上海大学
  • 会议名称：International Conference on Frontier of Nanoscience and Technology (ICFNST 2011)
  • 时间：2011
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS典型机构的传动特性与失效机理分析
作者： Shen, Xuejin|Wang, Zhenliang|Zhou, Ling|
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