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W/Ti合金靶材的制备及性能研究
  • 所属机构名称：北京有色金属研究总院
  • 会议名称：广东省真空学会第八届薄膜技术专题学术会议，2007：63
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：扩散阻挡层用W-Ti合金靶材性能改进探索性研究
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