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Research progress in piezoelectric mems microphones
  • 所属机构名称：中国科学院声学研究所
  • 会议名称：19th. INTERNATIONAL CONGRESS ON ACOUSTICS
  • 成果类型：会议
  • 会场：Madrid
  • 相关项目：硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
作者： 田静|李俊红|杨楚威|汪承灏|徐联|
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