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Simulaiton of the dual frequency capacitively coupled Ar plasma using Fluid model in semiconductor t
  • 所属机构名称:浙江理工大学
  • 会议名称:4th International Conference on Advanced Design and Manufacturing Engineering(ADME 2014)
  • 时间:2014.7.26
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:单隙及多隙虚火花放电击穿机理研究
作者: Xiaowei Gu|
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