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CZ法生长的硅单晶体中热应力分析
  • 所属机构名称：重庆大学
  • 会议名称：2006年中国工程热物理学会传热传质学术会议，2006年10月，南京理工大学。
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：新型单晶硅生长炉内热质输运研究及工程应用
作者： 刘春梅，李明伟，曾丹苓
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