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Fabrication of 3D solenoid microcoils in silica glass by femtosecond laser wet etch and microsolidic
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：International Conference on Photonics and Optical Engineering, icPOE 2014
  • 时间：2015
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于飞秒激光制备技术的新型微全分析纳米磁珠芯片的研究
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