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Model reduction for the electrostatically actuated silicon diaphragm based on modal-type dynamic con
  • 所属机构名称:福州大学
  • 会议名称:Proceedings of the ASME 2014 International Mechanical Engineering Congress and Exposition(IMECE2014)
  • 时间:2014.11
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:覆膜基底与微悬臂梁间粗糙面重复冲击接触-分离的动态接触特性分析
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