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离子注入制各Ge半导体纳米晶及其光学性能研究
  • 所属机构名称：核工业西南物理研究院
  • 会议名称：2008全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：低温等离子体沉积技术制备聚变堆面对等离子体材料与热沉间复合梯度涂层的工艺研究
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