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Error separation and dynamic compensation method in coplanar planar grating displacement measurement
  • 所属机构名称:哈尔滨工业大学
  • 会议名称:11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
  • 时间:2013.6.6
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:共形曲面网栅光学窗电磁散射机理研究
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