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Roll-to-Roll Nanoimprint Lithography on Flexible Plastic Substrate
  • 所属机构名称：中国科学院光电技术研究所
  • 会议名称：51th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication Denve
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微电子学
作者： 郭凌杰|
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微电子学
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