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反应磁控溅射法制备Y_2O_3金刚石红外减反膜
  • 所属机构名称:北京科技大学
  • 会议名称:金刚石与磨料磨具工程, 165(3), 10-18,2008
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:CVD金刚石自支撑膜的力学行为研究
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