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High quality AlN films grown by pulsed atomic-layer epitaxy.
  • 所属机构名称:华中科技大学
  • 会议名称:2007 Proc. of SPIE 6782-Optoelectronic Materials and Devices II
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于选择共振腔的单片集成白光LED芯片新方案研究
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