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N型硅衬底上射频磁控溅射法制备氮化硼薄膜的研究
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:第十九届全国半导体物理学术会议
  • 时间:2013.7.7
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:立方氮化硼单晶真空紫外光电探测器的研究
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