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基于UV-LIGA技术制备的新型电液动力微型泵
  • 所属机构名称：西南交通大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十六届学术年会暨第五届国际会议（CSMNT2014）
  • 时间：2014.6.9
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于三角柱-缝隙形电极结构的电共轭流体微动力源
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