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Confined etchant layer technique (CELT) for micromanufacture
所属机构名称:厦门大学
会议名称:6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2011
时间:2011
成果类型:会议
相关项目:基于约束刻蚀剂层的超光滑表面加工新方法
作者:
Tian, Zhao-Wu|Han, Lianhuan|Yang, Dezhi|Jiang, Li-Min|Tang, Jing|Sun, Jian-Jun|Shi, Kang|Zhou, Jianzhang|Tian, Zhong-Qun|
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