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Confined etchant layer technique (CELT) for micromanufacture
  • 所属机构名称:厦门大学
  • 会议名称:6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2011
  • 时间:2011
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:基于约束刻蚀剂层的超光滑表面加工新方法
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