位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
Investigation on the development of knowledge-based engineering and its application in rapid design
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：2013 International Conference on Mechatronics, Robotics and Automation, ICMRA 2013
  • 时间：2013.12.12
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于变Knudsen数气流3维模拟的低压腔室多目标优化设计方法研究
作者： Wang, Kesheng|Lin, Jia|Cheng, Jia|Ji, Linhong|
同会议论文项目
基于变Knudsen数气流3维模拟的低压腔室多目标优化设计方法研究
会议论文 3 专利 5
同项目会议论文
Temperature uniformity control in the low pressure process champer of the IC equipment
Researches of pressure measurement method in vacuum environment