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The effect of working pressure on the composition and optical properties of TiO2 films bombarded by
  • 所属机构名称:大连交通大学
  • 会议名称:The 8th International Forum on Advanced Materials Science and Technology
  • 时间:2013.2.15
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:a-SiOxNy薄膜化学键结构与缺陷形成机理的研究
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