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纳米技术时代的高端硅基材料—SO
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：第七届全国SOI技术研讨会， 2007年5月，无锡
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：SiGe-OI新材料的研究
作者： 林成鲁,刘卫丽
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