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Direct bonding SOl wafer based MEMS cantilever resonator for trace gas sensor application
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于自加热悬臂梁的谐振式MEMS气体传感器研究
作者： Dong Ying, Gao Wei, You Zheng|
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