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RF及VHF溅射系统中离子能量分布的实验研究
  • 所属机构名称：苏州大学
  • 会议名称：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
  • 时间：2013.8.8
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：多频CCP/ICP混合放电等离子体源的若干关键物理问题的研究
作者： 黄福培|叶超|何海杰|刘毅|宁兆元|
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