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Mechanism of high efficient discharged cutting on low doped silicon
  • 所属机构名称：南京航空航天大学
  • 会议名称：international synposium on electromachining
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：半导体材料特殊电特性下的随动进电电火花线切割研究
作者： M.B. Qiu|Z.D. Liu|W. Wang|Z.J. Tian|Y.H. H|
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