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CURVED SU-8 STRUCTURE FABRICATION BASED ON THE ACID-DIFFUSION EFFECT
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 会议名称：24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：高通量微流控半连续发酵反应器
作者： Chen, Qiang|Li, Gang|Zhao, Jianlong|
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