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微波吸收探针测量等离子体参数
  • 所属机构名称：安徽理工大学
  • 会议名称：第15届全国等离子体科学技术会议
  • 时间：2011
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：微波SPP放电激励SWP及其与射频CCP混合放电的粒子模拟
作者： 周启燕|刘明海|胡鹏|陈兆权|
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