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氢等离子体处理对非晶氮化铝薄膜场发射性能的影响
  • 所属机构名称：北京工业大学
  • 会议名称：中国真空学会2008年学术年会
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：半导体多层超薄膜场发射冷阴极的制备及其结构增强机理研究
作者： 王波|赵维|严辉|王峰瀛|宋雪梅|王如志|
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