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MEMS微结构疲劳失效行为的SEM原位试验与表征
  • 所属机构名称：清华大学
  • 会议名称：中国力学学会、中国腐蚀与防护学会、中国机械工程学会、中国材料研究学会、中国航空学会、中国金属学会
  • 时间：2012.11.11
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS焊点结构微观疲劳失效与可靠性的SEM原位研究
作者： 王习术|贾苏|任淮辉|
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