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高k材料异质外延生长、微结构及其物理特性
所属机构名称:复旦大学
会议名称:第九届全国分子束外延学术会议
成果类型:会议
会场:哈尔滨
相关项目:在硅衬底上Er2O3、Tm2O3高k介质材料的外延生长和物理特性研究
作者:
蒋最敏|
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