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Laser gap sensor used in electrostatic suspension system with optoelectronic feedback control
  • ISSN号：2002, 4919
  • 所属机构名称：浙江大学
  • 会议名称：SPIE-2002,EI&ISTP收录
  • 作者或编辑：3448
  • 第一作者单位：浙江大学
  • 语言：中文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：静电悬浮与静电传送的机理和方法研究
作者： Cheng Shuwen|Zhang Haijun|Wang Xinjie|
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