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Optimization of machining parameters and fabrication of nanostructures using AFM anodic oxidation
  • 所属机构名称：哈尔滨工业大学
  • 会议名称：Proceedings of MNC2007, MicroNanoChina07
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
作者： T. Sun|Y. C. Liang|J. Zhang|W. Yu|S. Dong|Y. D. Yan|
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