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氮化硼薄膜的制备和离子注入掺杂
  • 所属机构名称：北京工业大学
  • 会议名称：第五届全国半导体物理年会，2005年10月，成都
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的p型掺杂和薄膜p-n结的研制
作者： 邓金祥，陈浩，刘钧锴，田凌，张
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