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MOCVD制备GaN过程中纳米颗粒形核路径的CFD-DFT研究
  • 所属机构名称:西安交通大学
  • 会议名称:第13届全国MOCVD学术会议
  • 时间:2014.5.9
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:多晶硅铸锭定向凝固过程中的氧碳杂质耦合输运机理及控制
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